Primer sistema multihaz HMI eScan 1100 de ASML
ASML anunció la primera instalación para clientes de su HMI eScan 1100, el primer sistema de inspección de obleas de haz electrónico múltiple (multihaz) para aplicaciones de mejora del rendimiento en línea, incluida la inspección de defectos de contraste de voltaje y la inspección de defectos físicos.
Con 25 haces (5×5), el eScan 1100 es capaz de aumentar el rendimiento hasta 15 veces en comparación con los sistemas de inspección de haz electrónico único que se utilizan actualmente. Ofrece la sensibilidad y la velocidad que los clientes necesitan para cubrir una amplia gama de tipos de defectos en I + D para el desarrollo de procesos y en la fabricación de alto volumen para el monitoreo de excursiones.

«El proyecto eScan 1100 realmente comenzó cuando ASML y HMI reconocieron una brecha de mercado en la inspección de defectos en los nodos de tecnología de vanguardia», dijo Yu Cao, CEO de HMI, una compañía de ASML. «Existe la necesidad de una inspección de defectos más precisa para capturar pequeños defectos de hasta menos de 10 nm de tamaño con un alto rendimiento para una cobertura suficiente del área de obleas.
El sistema multihaz eScan 1100 llena ese vacío».
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La capacidad patentada de inspección de defectos de la matriz a base de datos de la eScan 1100 permite mejoras adicionales en la sensibilidad y el rendimiento para las aplicaciones más exigentes, como la supervisión de defectos de máscaras EUV mediante el uso de la comprobación de impresión de obleas. El eScan 1100 puede detectar defectos que actualmente pasan por alto los sistemas de inspección óptica en una fracción del tiempo que tardan las soluciones de haz electrónico individual.
«En mayo de 2020, HMI envió el primer eScan 1000, que fue un demostrador de tecnología crítica que produjo fuertes aprendizajes de aplicaciones y mejoras de diseño», dijo Gary Zhang, Jefe de Marketing de Productos de HMI. «El eScan 1100 incorpora esos aprendizajes con un sistema óptico electrónico mejorado a una resolución más alta y una etapa de alta velocidad para aumentar el rendimiento general del sistema. Además, una arquitectura computacional de alta velocidad procesa los flujos de datos de los múltiples beamlets en tiempo real».

Revista Transformación Digital